| 摘要 |
<p>타원형 유로를 통해 서로 다른 복수 종류의 증착가스를 교대로 제공하여 박막의 품질을 향상시킬 수 있는 가스분사 모듈 및 직립방식 증착장치가 개시된다. 평판 디스플레이 장치용 증착장치에서 타원형 유로를 갖는 가스분사 모듈은, 하우징 및 상기 하우징 내부에 구비되어 서로 다른 복수의 증착가스가 각각 제공되는 유로를 형성하며, 상기 유로는 타원형으로 형성되어 상기 유로를 개폐하는 캠 수단이 구비된 가스유로 유닛을 포함하여 구성된다. 여기서, 상기 가스유로 유닛은 서로 이웃하는 한 쌍의 가스유로 유닛 중 프리커서 가스를 제공하는 제1 가스유로 유닛과, 리액턴스 가스를 제공하는 제2 가스유로 유닛으로 구성된다. 그리고 상기 가스분사 모듈은 수직으로 세워진 기판을 수용하여 상기 기판 표면에 박막을 형성한다.</p> |
