| 发明名称 |
Iterative feedback tuning in a scanning probe microscope |
| 摘要 |
A method, system, device, and software for automatically determining PI feedback parameters in a scanning probe microscopy application setup using an iterative feedback tuning process.
|
| 申请公布号 |
US8250667(B2) |
申请公布日期 |
2012.08.21 |
| 申请号 |
US20080744587 |
申请日期 |
2008.12.01 |
| 申请人 |
SVENSSON KRISTER;BENGTSSON PAUL;ALTENBURG SIMON J.;NANOFACTORY INSTRUMENTS AB |
发明人 |
SVENSSON KRISTER;BENGTSSON PAUL;ALTENBURG SIMON J. |
| 分类号 |
G01Q10/06;G01Q30/04 |
主分类号 |
G01Q10/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
