Method for preparing polysilanes, polysilanes prepared thereby, dehydrogenation catalyst used for the method, method for manufacturing amorphous silicon thin film using the polysilanes

摘要

일차 실란, 이차 실란 또는 삼차 실란을 탈수소화 중합하여 선형 또는 고리형 폴리실란계 화합물을 제조하는 방법 및 이에 따라 제조되는 폴리실란계 화합물, 해당 제조 방법에 이용되는 탈수소화 촉매 및 해당 폴리실란계 화합물로 무정형 실리콘 박막을 제조하는 방법이 제공된다. 해당 폴리실란계 화합물은 태양전지를 비롯한 각종 전자 디바이스에 이용될 수 있으며, 특히 실리콘 태양전지 제조에 이용되는 무정형 실리콘 박막의 액상 공정에 의한 제조 시 유용하게 사용될 수 있다.