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<p>본 발명에 개시되는 본 발명의 실시예들은 코발트 실리사이드층들, 금속성 코발트층들, 및 다른 코발트-함유 물질들을 형성하는 장치 및 방법을 제공한다. 일 실시예에서, 기판상에 코발트 실리사이드 함유 물질을 형성하는 방법은 실리콘-함유 표면이 노출되도록 기판을 적어도 하나의 예비세정 프로세스에 노출하는 단계; 상기 실리콘-함유 표면상에 코발트 실리사이드 물질을 증착하는 단계; 상기 코발트 실리사이드 물질상에 금속성 코발트 물질을 증착하는 단계; 및 상기 기판상에 금속성 콘택 물질을 증착하는 단계를 포함한다. 또 다른 실시예에서, 실리콘-함유 표면이 노출되도록 기판을 적어도 하나의 예비세정 프로세스에 노출하는 단계; 상기 실리콘-함유 표면상에 코발트 실리사이드 물질을 증착하는 단계; 상기 기판을 어닐링 프로세스에 노출하는 단계; 상기 코발트 실리사이드 물질상에 배리어 물질을 증착하는 단계; 및 상기 배리어 물질상에 금속성 콘택 물질을 증착하는 단계를 포함하는 방법이 제공된다.</p> |
