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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR20120090764(A) 申请公布日期 2012.08.17
申请号 KR20117022914 申请日期 2010.09.28
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 SASAKI MAKOTO;HARADA SHIN;NISHIGUCHI TARO;OKITA KYOKO;NAMIKAWA YASUO
分类号 H01L21/02;H01L21/20 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
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