Vorrichtung, Anordnung und Verfahren zur Interferenzstrukturierung von flächigen Proben

摘要

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung (sowie ein entsprechendes Verfahren) zur Interferenzstrukturierung einer flächigen Probe mit einem Laser, einem im Strahlengang des Lasers angeordneten Fokussierelement, mit dem die Laserstrahlung in einer ersten Raumrichtung (y) fokussierbar ist, einem im Strahlengang des Lasers angeordneten ersten Prisma, insbesondere einem Biprisma, mit dem die Laserstrahlung in einer zweiten, zur ersten Raumrichtung bevorzugt orthogonalen Raumrichtung (x) mit zwei Strahlenbündeln so auf ein Probenvolumen richtbar ist, dass die beiden Strahlenbündel innerhalb des Probenvolumens in einem Interferenzbereich interferieren, dem Probenvolumen, in dem die flächige Probe im Interferenzbereich platzierbar ist oder platziert ist, und einer Bewegungseinheit, mit der das/die Strahlenbündel der Laserstrahlung in der ersten, der zweiten oder der ersten und der zweiten Raumrichtung (x, y) bewegbar ist/sind und/oder mit der eine/die Probe im Probenvolumen in die erste, die zweite oder die erste und die zweite Raumrichtung (x, y) bewegbar ist.