发明名称 |
Monochlorsilan, Verfahren und Vorrichtung zu dessen Herstellung |
摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Monochlorsilan aus der Umsetzung von Monosilan und Dichlorsilan in Gegenwart eines Katalysators. Nach dem erfindungsgemäßen Verfahren wird Monochlorsilan durch Komproportionierung von Monosilan und Dichlorsilan gebildet. Ferner betrifft die Erfindung die Verwendung des hergestellten Monochlorsilans als auch eine Anlage zur Durchführung des Verfahrens. |
申请公布号 |
DE102011004058(A1) |
申请公布日期 |
2012.08.16 |
申请号 |
DE20111004058 |
申请日期 |
2011.02.14 |
申请人 |
EVONIK DEGUSSA GMBH |
发明人 |
MUEH, EKKEHARD;RAULEDER, HARTWIG, DR.;LANG, JUERGEN ERWIN, DR.;SCHORK, REINHOLD, DR. |
分类号 |
C01B33/107;B01J27/24;C01B33/021;C01B33/04 |
主分类号 |
C01B33/107 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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