| 摘要 |
<p>본 발명의 간섭계와 2차원-반사광도계의 측정이 가능한 복합시편 표면특성 측정장치는 광원(101); 측정광을 평행광으로 만들어주는 콜리메이터(collimator)(104); 평행광의 특정파장영역 빛을 통과시키는 다수개의 밴드패스필터(band pass filter)(122)와 적어도 하나의 공필터(123)가 마운팅되며, 이들에게 선택적으로 조사되도록 하는 필터휠(121); 상기 필터휠을 통과한 평행광을 편광된 빛으로 분할하는 제1광분할기(105); 상기 제1광분할기(105)로부터 분할된 일부의 빛을 시편(150) 표면에 조사시켜 간섭광을 생성시키는 간섭렌즈부(130); 상기 제1광분할기(105)로부터 분할된 일부의 빛을 시편(150)에 조사시켜 반사광을 생성시키는 반사광도렌즈부(140); 상기 제1광분할기(105)로부터 분할된 일부의 빛을 상기 간섭렌즈부(130) 또는 상기 반사광도렌즈부(140)에 선택적으로 조사되도록 회전가능한 대물렌즈 마운팅부(106); 시편(150)으로부터 반사된 간섭광 또는 반사광을 집광시켜 주기 위한 결상렌즈(108); 집광된 간섭광 또는 반사광을 검출하기 위한 검출기(109);를 포함한다.</p> |
