碳化硅悬臂杆承载装置

摘要

本实用新型涉及半导体设备，具体是指一种碳化硅悬臂杆承载装置，包括相互配合卡紧的至少一组铝夹块，所述承载装置还包括圆杆，圆杆两侧分别设有悬臂杆，所述一组铝夹块卡紧在圆杆一端且圆杆另一端通过前夹紧机构与各悬臂杆相连，悬臂杆一端通过后夹紧机构连接到圆杆上，后夹紧机构可调节悬臂杆向上或向下倾斜，所述前夹紧机构和后夹紧机构通过控制对悬臂杆的夹紧度而调整两根悬臂杆之间所成夹角。所述本实用新型碳化硅杆承载装置，主要通过两根可以单独进行倾角调整的碳化硅杆取代传统的碳化硅桨，承载工件进出、上下运动于反应管内。

主权项

一种碳化硅悬臂杆承载装置，包括相互配合卡紧的至少一组铝夹块(1，2)，其特征是，所述承载装置还包括圆杆(4)，圆杆(4)两侧分别设有悬臂杆(9)，所述一组铝夹块(1，2)卡紧在圆杆(4)一端且圆杆(4)另一端通过前夹紧机构与各悬臂杆(9)相连，悬臂杆(9)一端通过后夹紧机构连接到圆杆(4)上，后夹紧机构可调节悬臂杆(9)向上或向下倾斜，所述前夹紧机构和后夹紧机构通过控制对悬臂杆(9)的夹紧度而调整两根悬臂杆(9)之间所成夹角。