自动聚焦装置

摘要

一种自动聚焦装置，在一个实施例中，包括光源、分束器、光纤环形器、光准直仪、平衡检波器和微处理器。光纤环形器与分束光信号的一部分在第一端口耦合，与光准直仪在第二端口耦合，与平衡检波器在第三端口耦合。光准直仪将来自光纤环形器的光束通过分色镜和显微镜物镜直接导向到样品上。平衡检波器利用分束光信号的另一部分作为输入，并且将从放置样品的基片反射离开的光信号转换为模拟电压信号。微处理器处理平衡检波器的输出以及来自可调整的显微镜载台的定位反馈以产生用于移动可调整的显微镜载台的位置的命令从而达到需要的聚焦。

主权项

一种自动聚焦装置，其特征在于，包括：光源；分束器，用于将由所述光源发出的光束分成光信号的第一部分和光信号的第二部分；光纤环形器，具有第一端口、第二端口和第三端口；其中在所述光纤环形器中的所述光信号仅从所述第一端口传播到所述第二端口以及从所述第二端口传播到所述第三端口；其中所述光纤环形器与所述光信号的第二部分在所述第一端口处耦合；光准直仪，用于将从所述光纤环形器的所述第二端口输出的光通过分色镜和显微镜物镜导向到样品上，其中所述样品和物镜之间的间隔是能够调节的；平衡检波器，用于将从放置所述样品的基片反射离开的光信号转换为模拟电压信号，其中，反射光信号被所述显微镜物镜捕获，并且通过所述分色镜、所述光准直仪，再从所述光纤环形器的所述第二端口输入且从所述光纤环形器的所述第三端口输出，从而被送到所述平衡检波器；其中，所述平衡检波器使用所述光信号的第一部分作为输入；以及微处理器，用于处理来自所述平衡检波器的所述模拟电压信号。