具有改良RF热切换性能及可靠性的微机械数字电容器

摘要

本发明一般涉及能够热切换的RF MEMS装置。RF MEMS装置通过利用一或多个弹簧机构能够热切换。在某些实施例中，可以使用在MEMS装置的悬臂的位移中的特定点转为啮合的两组或两组以上弹簧。弹簧允许显著增加给定拉入下落电压的释放电压。

主权项

一种装置，包括：衬底，所述衬底具有在所述衬底中形成的一或多个电极；电绝缘层，所述电绝缘层布置在所述衬底和所述一或多个电极上方；一或多个下落结构，所述一或多个下落结构耦接于所述衬底；MEMS元件，所述MEMS元件耦接于所述衬底，所述MEMS元件可从第一位置移动到与所述电绝缘层间隔的第二位置，所述MEMS元件包括第一部分和第二部分，所述第一部分在所述MEMS元件处于所述第一位置中时接触所述电绝缘层，所述第二部分在所述MEMS元件处于所述第二位置中时接触所述一或多个下落结构。