复合电流调制半导体激光干涉仪

摘要

一种复合电流调制半导体激光干涉仪，适用于距离测量。其结构包括光源、隔离器、光纤耦合器、准直器、光电探测器、分束镜、参考反射镜、信号处理器、反馈控制器。所述的光源带有驱动电源和温度控制器；驱动电源提供两个不同频率的正弦调制电流，对光源进行调制。光电探测器将接收到的干涉信号转换成电信号输入到信号处理器内计算待测距离。反馈控制器与光电探测器相连，通过反馈控制锁定高频调制深度。与在先技术相比，本发明的干涉仪结构简单紧凑，利用复合电流实现了双正弦相位调制；并通过反馈控制锁定工作参数，增强了系统稳定性，提高了测量精度，同时实现了实时测量。

主权项

一种复合电流调制半导体激光干涉仪，包括由驱动电源(1)驱动的带有温度控制器(2)的光源(3)、隔离器(4)、光纤耦合器(5)、准直器(6)、分束镜(7)、参考反射镜(9)、第一光电探测器(10)、第二光电探测器(11)、信号处理器(12)和反馈控制器(13)，其特征在于：所述的驱动电源(1)输入端口(1a)与反馈控制器(13)输出端口相连，第一输出端口(1b)与光源(3)相连，第二输出端口(1c)与信号处理器(12)的第三输入端口(12c)相连；所述的驱动电源(1)为光源(3)提供直流驱动电流和正弦交流电流；由光源(3)发射的光束通过隔离器(4)并经光纤耦合器(5)分为两束光：一束光通过准直器(6)准直后出射，经过分束镜(7)分束后分别照射在待测物体(8)和参考反射镜(9)上，由待测物体(8)表面反射的光和由参考反射镜(9)反射的光再通过分束镜(7)和准直器(6)后，再经过所述的光纤耦合器(5)由第一光电探测器(10)；另一束光由第二光电探测器(11)探测；所述的信号处理器(12)的第一输入端口(12a)与第一光电探测器(10)的输出端相连，第二输入端口(12b)与第二光电探测器(11)的输出端相连，第三输入端口(12c)与驱动电源(1)的第二输出端口(1c)相连，输出端口(12d)与所述的反馈控制器(13)的输入端口相连；该反馈控制器(13)的输出端与所述的驱动电源(1)输入端口(1a)相连。