| 发明名称 | 用于对处理系统中的排放气体进行处理的方法和设备 | ||
| 摘要 | 本文提供用于在衬底处理系统的前级管路中对排放气体进行处理的方法与设备。在一些实施例中，一种用于在衬底处理系统的前级管路中对排放气体进行处理的设备包括：等离子体源，其联接至处理腔室的前级管路；反应物源，其联接至等离子体源的上游的前级管路；和前级管路气体注入套组，其联接至前级管路以可控制地将气体输送至前级管路，其中，前级管路注入套组包括：压力调节器，其用以设定前级管路气体输送压力设定点；和第一压力计，其经联接以监测前级管路的上游的气体的输送压力。 | ||
| 申请公布号 | CN102640255A | 申请公布日期 | 2012.08.15 |
| 申请号 | CN201080055155.5 | 申请日期 | 2010.12.02 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 科林·约翰·迪金森;迈赫兰·莫勒姆;丹尼尔·O·克拉克 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人 | 王安武 |
| 主权项 | 一种用于在衬底处理系统的前级管路中对排放气体进行处理的设备，所述设备包括：等离子体源，其联接至处理腔室的前级管路；反应物源，其联接至所述等离子体源的上游的所述前级管路；和前级管路气体注入套组，其联接至所述前级管路以可控制地将气体输送至所述前级管路，其中，所述前级管路注入套组包括：压力调节器，其用以设定前级管路气体输送压力设定点；和第一压力计，其经联接以监测所述前级管路的上游的气体的输送压力。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||