| 发明名称 | 单芯片三轴AMR传感器及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种单芯片三轴AMR传感器，其包括有基板、设置在基板上的第一水平向传感器、第二水平向传感器、第三水平向传感器以及设置在所述第三水平向传感器上的通量集中器，其中通量集中器和第三水平向传感器配合实现Z轴传感器的功能。本发明利用通量集中器和第三水平向传感器之间的配合，有效地实现了Z轴方向的测量，从而使得三轴AMR传感器的集成成为可能，极大地发展了AMR传感器集成技术。且，集成后的三轴AMR传感器，成本较低，可靠性强。 | ||
| 申请公布号 | CN102636762A | 申请公布日期 | 2012.08.15 |
| 申请号 | CN201110098286.8 | 申请日期 | 2011.04.19 |
| 申请人 | 美新半导体（无锡）有限公司 | 发明人 | 蔡永耀;卞锺元;赵阳;蒋乐跃 |
| 分类号 | G01R33/09(2006.01)I;G01R3/00(2006.01)I | 主分类号 | G01R33/09(2006.01)I |
| 代理机构 | 无锡互维知识产权代理有限公司 32236 | 代理人 | 王爱伟 |
| 主权项 | 一种单芯片三轴AMR传感器，其特征在于：其包括有基板、设置在基板上的第一水平向传感器、第二水平向传感器、第三水平向传感器以及设置在所述第三水平向传感器上的通量集中器，其中通量集中器和第三水平向传感器配合实现Z轴传感器的功能。 | ||
| 地址 | 214000 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新辉环路2号 | ||