石英玻璃坩埚的搬运装置及搬运方法

摘要

本发明的石英玻璃坩埚的搬运装置包括：彼此相向的一对夹持单元，组装在框架所包括的一对臂部，且在坩埚的径方向上夹持石英玻璃坩埚的主体部，所述框架包括沿水平方向延伸的横梁，且所述一对臂部在相对于横梁的中心轴线方向正交的方向上从横梁突出且至少一个可沿横梁的中心轴线方向移动；卡止单元，邻接于各夹持单元而设置，由在坩埚的中心轴线方向上夹住并卡止石英玻璃坩埚且可在坩埚的中心轴线方向上接近或离开的一对舌片构成；以及驱动单元，使夹持单元及卡止单元沿臂部来回运动。而且，本发明的搬运方法使用所述装置。

主权项

一种石英玻璃坩埚的搬运装置，夹持石英玻璃坩埚并使其移动，其特征在于：彼此相向的一对夹持单元，组装在框架所包括的一对臂部，且在所述石英玻璃坩埚的径方向上夹持所述石英玻璃坩埚的主体部，所述框架包括沿水平方向延伸的横梁，且所述一对臂部在相对于该横梁的中心轴线方向正交的方向上从该横梁突出且至少一个可沿该横梁的中心轴线方向移动；卡止单元，邻接于所述各夹持单元而设置，由在所述石英玻璃坩埚的中心轴线方向上夹住并卡止所述石英玻璃坩埚且可在所述石英玻璃坩埚的中心轴线方向上接近或离开的一对舌片构成，并且，该一对舌片由可在坩埚的中心轴线方向上移动的舌片和可在坩埚的中心轴线方向上摇动的舌片构成；以及驱动单元，使所述框架沿所述石英玻璃坩埚的中心轴线来回运动。