蒸汽输送装置及其蒸发器

摘要

本实用新型提供了一种蒸发器，用于将高纯液体转换为蒸汽，包括压力容器，压力容器的外壁上设置有加热器，压力容器的底部设置有排渣口，压力容器的顶部设置有蒸汽排出口和容器入口，容器入口为一个向压力容器内注入高纯液体的原料进料口，高纯液体注入压力容器中，通过加热器将高纯液体加热至高纯液体的沸点以上，高纯液体被蒸发为蒸汽状态，并以一定的饱和蒸汽压经蒸汽排出口排出，通过蒸汽质量流量计实现对蒸汽流量的精确的控制，实现了高纯液体的安全、精确的输送，从而解决蒸汽输送装置对温度控制精度需求高、易液化的问题。本实用新型还提供了一种蒸汽输送装置，其上设置有具有上述蒸发器结构的第一蒸发器和第二蒸发器。

主权项

一种蒸发器，用于将高纯液体转换为蒸汽，包括压力容器(1)，所述压力容器(1)的外壁上设置有加热器(2)，所述压力容器(1)的底部设置有排渣口(6)，所述压力容器(1)的顶部设置有蒸汽排出口(4)，所述压力容器(1)的顶部还设置有容器入口(3)，其特征在于，所述容器入口(3)为一个向压力容器(1)内注入高纯液体的原料进料口。