双极性静电夹头

摘要

本发明提供一种绝缘耐性佳，且可发挥良好吸附力的双极性静电夹头。并且提供一种对电极结束电压的施加之后，可尽可能解决试料自试料吸附面之剥除难度的双极性静电夹头。;本发明的双极性静电夹头是在绝缘体内部具有第一电极及第二电极，并且将此绝缘体的表面作为试料吸附面的双极性静电夹头，其特征为：上述绝缘体在其深度方向以接近试料吸附面的顺序具有第一电极、电极间绝缘层、及第二电极，此第二电极在试料吸附面的法线方向相对于第一电极具有非重叠区域。