摘要 |
Gemäß einem Aspekt ist eine thermisch steuerbare integrierte Einheit eingerichtet, Prüflinge (Devices Under Test, DUTs) aufzunehmen. Die integrierte Einheit beinhaltet zumindest eine Heizplatte, die aus thermisch leitendem Material besteht und mit zumindest einem globalen Heizelement ausgestattet ist, das eingerichtet ist, die DUT-Platte global zu heizen. Eine DUT-Platte der integrierten Einheit beinhaltet eine DUT-Platte, die in thermischem Kontakt mit der zumindest einen Heizplatte steht, wobei die DUT-Platte eine Vielzahl von Fassungen beinhaltet, von denen jede dazu eingerichtet ist, zumindest ein DUT aufzunehmen. Der DUT weist Leitungspfade auf, um elektrische Signale zwischen Test-Equipment und den Anschlusspunkten der DUTs in den Fassungen zu leiten. Jede Fassung beinhaltet einen zugeordneten Temperatursensor und ein separat steuerbares lokales Heizelement, dazu eingerichtet, ein DUT in dieser Fassung basierend auf einer Temperaturangabe des Temperatursensors zu heizen.
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