发明名称 Integrierte Einheit für elektrisches Testen/ Zuverlässigkeitstesten mit verbesserter thermischer Kontrolle
摘要 Gemäß einem Aspekt ist eine thermisch steuerbare integrierte Einheit eingerichtet, Prüflinge (Devices Under Test, DUTs) aufzunehmen. Die integrierte Einheit beinhaltet zumindest eine Heizplatte, die aus thermisch leitendem Material besteht und mit zumindest einem globalen Heizelement ausgestattet ist, das eingerichtet ist, die DUT-Platte global zu heizen. Eine DUT-Platte der integrierten Einheit beinhaltet eine DUT-Platte, die in thermischem Kontakt mit der zumindest einen Heizplatte steht, wobei die DUT-Platte eine Vielzahl von Fassungen beinhaltet, von denen jede dazu eingerichtet ist, zumindest ein DUT aufzunehmen. Der DUT weist Leitungspfade auf, um elektrische Signale zwischen Test-Equipment und den Anschlusspunkten der DUTs in den Fassungen zu leiten. Jede Fassung beinhaltet einen zugeordneten Temperatursensor und ein separat steuerbares lokales Heizelement, dazu eingerichtet, ein DUT in dieser Fassung basierend auf einer Temperaturangabe des Temperatursensors zu heizen.
申请公布号 DE112010000729(T5) 申请公布日期 2012.08.09
申请号 DE201011000729T 申请日期 2010.01.26
申请人 QUALITAU, INC. 发明人 LUPASHKU, MIRTCHA;HERSCHMANN, JACOB;KRIEGER, GEDALIAHOO
分类号 G01R31/26;G05D23/00 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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