| 发明名称 | 一种新型的PECVD冷却台 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开一种新型的PECVD冷却台，包括支架及支架固定的冷却灶，其中，所述冷却灶四周由支架固定，冷却灶下方设有鼓风机，冷却灶上方设有铁丝网。本新型的PECVD冷却台结构简单、成本低廉、使用方便、冷却时间短、冷却后的太阳能单晶硅电池片硬度均匀。 | ||
| 申请公布号 | CN202369637U | 申请公布日期 | 2012.08.08 |
| 申请号 | CN201120497610.9 | 申请日期 | 2011.12.02 |
| 申请人 | 海南天聚太阳能有限公司 | 发明人 | 刘中唯 |
| 分类号 | C23C16/44(2006.01)I;C30B25/02(2006.01)I;C30B33/00(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/44(2006.01)I |
| 代理机构 | 海口兴南知识产权事务有限公司 46002 | 代理人 | 戴巨龙 |
| 主权项 | 一种新型的PECVD冷却台，包括支架及支架固定的冷却灶，其特征在于：所述冷却灶四周由支架固定，冷却灶下方设有鼓风机，冷却灶上方设有铁丝网。 | ||
| 地址 | 570314 海南省海口市港澳工业区港澳大道 | ||