用于光刻的图像传感器

摘要

本发明涉及用于空间图案探测的图像，所述空间图案包括光刻设备中用于曝光衬底的辐射束的横截面上的辐射强度的空间差异。图像传感器包括布置用以形成空间图案的探测图像的透镜(5)和布置成测量在所述探测图像中多个位置上的辐射强度的图像探测器(6)。

主权项

一种用于将赋予辐射束的图案投影到衬底上的光刻投影设备，包括：图案形成装置，用于将所述图案赋予所述辐射束，所述图案包括对准标记；和图像传感器，用于探测所述对准标记的空间图案，所述空间图案包括所述辐射束的横截面上的辐射强度的空间差异，其特征在于，所述图像传感器包括：透镜，其布置用以形成所述空间图案的探测图像；和图像探测器，其布置成测量在所述探测图像中多个位置上的辐射强度，且其中所述对准标记包括具有典型地用于将要被赋予到衬底上的图案的形状和尺寸的图案。