发明名称 Etchant and array substrate having copper lines etched by the etchant
摘要 An etchant includes hydrogen peroxide (H2O2), and a mixed solution including at least one of an organic acid, an inorganic acid, and a neutral salt.
申请公布号 US8236704(B2) 申请公布日期 2012.08.07
申请号 US20090654494 申请日期 2009.12.22
申请人 JO GYOO-CHUL;CHAE KI-SUNG;LG DISPLAY CO., LTD. 发明人 JO GYOO-CHUL;CHAE KI-SUNG
分类号 G02F1/1343;H01L21/302;C09K13/04;C09K13/06;C23F1/18;C23F1/26;G02F1/1368;H01L21/28;H01L21/306;H01L21/3213;H01L21/336;H01L29/45;H01L29/786 主分类号 G02F1/1343
代理机构 代理人
主权项
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