冷凝板及使用该冷凝板之冷冻高真空泵浦

摘要

【课题】提供一种可提高排气速度和凝固/吸附效率之冷凝板以及使用该冷凝板之冷凝高真空泵浦。;【解决手段】冷凝板10包含圆板状面板10A和8片板状面板10B。圆板状面板10A受到冷冻机3之第一段冷冻平台8A支持。各板状面板10B在圆板状面板10A之外周部以等角度间隔安装，沿着气体之流入方向延伸至圆板状面板10A之上游及下游，并且，以延伸至圆板状面板10A之外周(直径方向位置)之外侧的状态来安装。此外，各板状面板10B在圆板状面板10A之直径方向之中心部位相互间隔。