发明名称 |
半导体元件及其切割方法 |
摘要 |
本发明公开一种半导体元件及其切割方法。切割方法包括下列步骤。以激光切割形成于基板上的发光层,以形成沟槽于发光层的表面。以刀具切割基板,以形成切割线于基板的背面,切割线与沟槽位于劈裂线上。沿着劈裂线劈开基板以及发光层,以形成断面。 |
申请公布号 |
CN102623601A |
申请公布日期 |
2012.08.01 |
申请号 |
CN201110061165.6 |
申请日期 |
2011.03.14 |
申请人 |
隆达电子股份有限公司 |
发明人 |
翁健森;余威征;林耀辉;何孝恆 |
分类号 |
H01L33/30(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I;B28D5/00(2006.01)I;B23K26/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01L33/30(2010.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
彭久云 |
主权项 |
一种切割方法,包括:以激光切割形成于基板上的发光层,以形成沟槽于该发光层的表面;以刀具切割该基板,以形成切割线于该基板的背面,该切割线与该沟槽位于劈裂线上;以及沿着该劈裂线劈开该基板以及该发光层,以形成断面。 |
地址 |
中国台湾新竹市 |