| 发明名称 | 一种快速射频微机械开关 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种快速射频微机械开关，包括复合悬臂梁、驱动下电极、射频传输线和高阻硅衬底，复合悬臂梁是由上下两层介质层和中间的金属层构成的三明治结构，该快速射频微机械开关采用inline排布，复合悬臂梁位于驱动下电极的正上方，平行于射频传输线；复合悬臂梁结构中的金属层作为驱动上电极，在开关导通时复合悬臂梁成为信号线的一部分；在复合悬臂梁的自由端形成金属接触头，在复合悬臂梁两侧有一对支撑小臂；三明治结构的复合悬臂梁通过锚点固定于射频传输线上。本发明在保持较低驱动电压的前提下实现了μs级的开关时间，通过调节三明治结构上下介质层的生长条件改善了应力问题，提高了开关的可靠性。 | ||
| 申请公布号 | CN102623253A | 申请公布日期 | 2012.08.01 |
| 申请号 | CN201210105187.2 | 申请日期 | 2012.04.11 |
| 申请人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明人 | 朱银芳;魏伟伟;毛旭;杨晋玲;杨富华 |
| 分类号 | H01H59/00(2006.01)I | 主分类号 | H01H59/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 宋焰琴 |
| 主权项 | 一种快速射频微机械开关，包括复合悬臂梁(1)、驱动下电极(4)、射频传输线(5)和高阻硅衬底(7)，其特征在于，复合悬臂梁(1)是由上下两层介质层和中间的金属层构成的三明治结构，该快速射频微机械开关采用inline排布，复合悬臂梁(1)位于驱动下电极(4)的正上方，平行于射频传输线(5)；复合悬臂梁结构(1)中的金属层作为驱动上电极，在开关导通时复合悬臂梁(1)成为信号线的一部分；在复合悬臂梁(1)的自由端形成金属接触头(2)，在复合悬臂梁(1)两侧有一对支撑小臂(10)；三明治结构的复合悬臂梁(1)通过锚点(3)固定于射频传输线(5)上。 | ||
| 地址 | 100083 北京市海淀区清华东路甲35号 | ||