发明名称 |
晶体管测试装置及方法 |
摘要 |
本发明提出了一种晶体管测试装置及方法,属于微电子技术领域。所述晶体管的测试装置包括:路径选择电路,用于接收路径选择信号和输入信号,并根据路径选择信号控制输入信号的通路;逻辑门链电路,与路径选择电路耦接,用于使信号经过以形成测试后信号;逻辑门链电路为级联的偶数个门电路构成的级联电路,其中,门电路由待测试的晶体管构成;输出缓冲器电路,与逻辑门链电路和路径选择电路分别耦接,用于接收来自逻辑门链电路或路径选择电路的中间信号并输出经缓冲后的输出结果。通过本发明的上述技术方案,提供一种晶体管测试装置及方法,可以解决晶体管在封装条件下的测试问题,监控工艺和器件的结构,简便实用地测试晶体管。 |
申请公布号 |
CN101930051B |
申请公布日期 |
2012.08.01 |
申请号 |
CN200910308495.3 |
申请日期 |
2009.10.20 |
申请人 |
中国科学院微电子研究所 |
发明人 |
毕津顺;海潮和;韩郑生;罗家俊 |
分类号 |
G01R31/26(2006.01)I |
主分类号 |
G01R31/26(2006.01)I |
代理机构 |
北京市德权律师事务所 11302 |
代理人 |
王建国 |
主权项 |
一种晶体管测试装置,其特征在于,所述装置包括:路径选择电路,用于接收路径选择信号和输入信号,并根据所述路径选择信号控制所述输入信号的通路;逻辑门链电路,与所述路径选择电路耦接,用于使输入信号经过以形成测试后信号;所述逻辑门链电路为级联的偶数个门电路构成的级联电路,其中,所述门电路由待测试的晶体管构成;输出缓冲器电路,与所述逻辑门链电路和所述路径选择电路分别耦接,用于接收来自所述逻辑门链电路或所述路径选择电路的中间信号并输出经缓冲后的输出结果;所述路径选择电路包括:反相器,用于接收所述路径选择信号;第一或非门,与所述反相器耦接,用于接收经由所述反相器的路径选择信号和输入信号;第二或非门,用于接收所述路径选择信号和输入信号。 |
地址 |
100029 北京市朝阳区北土城西路3号中科院微电子所 |