| 摘要 |
Una estructura de blanco de magnetrón cilíndrico (10) para su uso en un aparato, fijando dicha estructura deblanco de magnetrón cilíndrico a un husillo, estando adaptada dicha estructura de blanco de magnetrón para serrotada y utilizada para el depósito de capas pulverizadas en una diversidad de grandes sustratos, comprendiendodicho aparato:dicho miembro de husillo (20) que incluye un eje hueco que termina en una porción de brida (22) que tiene unasuperficie terminal, incluyendo dicha superficie terminal una junta tórica (40) en una ranura para junta tóricacircular (50), teniendo dicha porción de brida un diámetro;dicha estructura de blanco cilíndrico (10); yuna abrazadera (30) que tiene una superficie circunferencial interna roscada, estando dicha abrazadera (30)adaptada para ajustarse sobre dicha porción de brida del miembro de husillo (22) para engranar dichaestructura de blanco cilíndrico (10) y asegurar en forma tal que se pueda liberar dicha estructura de blancocilíndrico a dicha superficie del extremo del miembro de husillo adyacente a dicha junta tórica (40);caracterizado por que dicha estructura de blanco cilíndrico (10) tiene una superficie circunferencial exteriorroscada y una superficie terminal (12), teniendo dicha estructura de blanco un diámetro generalmente igual aldiámetro de dicha porción de brida del miembro de husillo (22), por la que dicha abrazadera (30) está adaptadapara engranar dicha superficie circunferencial exterior roscada de la estructura de blanco cilíndrico;dicha superficie circunferencial exterior roscada de la estructura de blanco cilíndrico comprende una ranura enespiral (80) que tiene un paso longitudinal igual y correspondiente al de la ranura en espiral continua (90)proporcionada en dicha abrazadera, y haciendo dicha ranura en espiral de la superficie circunferencial exteriorroscada de la estructura de blanco cilíndrico (80) al menos una vuelta completa alrededor de dicha superficiecircunferencial exterior del blanco; ydicha ranura en espiral de la superficie circunferencial exterior roscada de la estructura de blanco cilíndrico (80)incluye un miembro de muelle (70) que se introduce, pero no de forma que esté permanentemente fijado,dentro de dicha ranura en espiral de la estructura de blanco.
|
