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发明名称
Transfer Apparatus with intergrated loading and receiving, and Method of Operating the same
摘要
申请公布号
KR101167455(B1)
申请公布日期
2012.07.26
申请号
KR20100131005
申请日期
2010.12.20
申请人
发明人
分类号
H05K13/02;B65G47/91;H01L21/677
主分类号
H05K13/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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