发明名称 |
加工装置 |
摘要 |
本发明提供一种加工装置,其能够抑制净化间的运行成本及设备费用。所述加工装置具备:用于保持被加工物的装夹工作台;以及用于对保持于所述装夹工作台的被加工物一边供给加工液一边实施加工的加工机构,所述加工装置的特征在于,具备:壳体,其覆盖装夹工作台和加工机构;抽吸管道,其与壳体的内部连结,用于抽吸在加工时产生的雾和尘埃;以及风扇单元,其配置于抽吸管道内并具有高性能过滤器和风扇,所述高性能过滤器捕获抽吸到所述抽吸管道内的雾及尘埃,从而从空气中除去雾及尘埃,所述风扇对所述抽吸管道作用抽吸力,并且将利用高性能过滤器除去了雾及尘埃的清洁空气排出,经所述风扇单元排出的清洁空气被排出到净化间内或返回到所述壳体内。 |
申请公布号 |
CN102610542A |
申请公布日期 |
2012.07.25 |
申请号 |
CN201210015187.3 |
申请日期 |
2012.01.17 |
申请人 |
株式会社迪思科 |
发明人 |
关家一马;藤田敦史;吉田干 |
分类号 |
H01L21/67(2006.01)I;B01D46/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 11127 |
代理人 |
党晓林;王小东 |
主权项 |
一种加工装置,其具备:用于保持被加工物的装夹工作台;以及用于对保持于所述装夹工作台的被加工物一边供给加工液一边实施加工的加工机构,所述加工装置的特征在于,所述加工装置具备:壳体,其覆盖所述装夹工作台和所述加工机构;抽吸管道,其与所述壳体的内部连结,用于抽吸在加工时产生的雾和尘埃;以及风扇单元,其配置于所述抽吸管道内并具有高性能过滤器和风扇,所述高性能过滤器捕获抽吸到所述抽吸管道内的雾及尘埃,从而从空气中除去雾及尘埃,所述风扇对所述抽吸管道作用抽吸力,并且将利用所述高性能过滤器除去了雾及尘埃的清洁空气排出,经所述风扇单元排出的清洁空气被排出到净化间内或返回到所述壳体内。 |
地址 |
日本东京都 |