发明名称 Apparatus to measure homogeneity of silicon single crystal irradiation
摘要
申请公布号 CZ24114(U1) 申请公布日期 2012.07.25
申请号 CZ20120026214U 申请日期 2012.06.14
申请人 CENTRUM VYZKUMU RE× S.R.O. 发明人 VIERERBL LADISLAV;KLUPAK VIT
分类号 G01T1/203;G01T1/166 主分类号 G01T1/203
代理机构 代理人
主权项
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