无尘室微粒自动测量小车、自动测量系统及其测量方法

摘要

本发明公开了一种无尘室微粒自动测量小车、自动测量系统及其测量方法，该自动测量小车包括自动导引装置，导引小车沿一既定路径行驶，自动导引装置包括一读取头，读取头识别预先设置的感应路径以及识别预先设置的多个测量点，小车根据感应路径进行行驶；测量仪，测量仪测量测量点的微粒；数据处理装置，测量仪将测量所得的微粒数据输送至数据处理装置，数据处理装置依据预设规则进行数据输出。通过上述方式，本发明能够自动测量指定区域的无尘室微粒，减少人力资源，提高测量结果的准确性。

主权项

一种无尘室微粒自动测量小车，其特征在于包括：自动导引装置，导引所述小车沿一既定路径行驶，所述自动导引装置包括一读取头，所述读取头识别预先设置的感应路径以及识别预先设置的多个测量点，所述小车根据所述感应路径进行行驶；测量仪，所述测量仪测量所述测量点的微粒；数据处理装置，所述测量仪将测量所得的微粒数据输送至所述数据处理装置，所述数据处理装置依据预设规则进行数据输出。