一种传动加热系统及方法

摘要

本发明涉及一种传动加热系统，具体地讲是涉及一种化学气相淀积工艺反应腔室中的传动加热系统，还涉及一种基于上述系统的传动加热方法。该系统包括安装在反应腔室侧壁上的滚轮传动装置和设于反应腔室底部的升降支撑装置，加热板直接设在升降支撑装置上，加热板靠近传动滚轮的两侧边缘设有使传动滚轮通过的凹槽。该系统结构和传动加热方法简单，极大地简化了传输和加热结构，降低了成本；加强了传输稳定性，降低了玻璃基板破碎率，易于维护和调整。

主权项

一种传动加热系统，包括安装在反应腔室侧壁上的滚轮传动装置和设于反应腔室底部的升降支撑装置，其特征在于加热板直接设在升降支撑装置上，加热板靠近传动滚轮的两侧边缘设有使传动滚轮通过的凹槽。