| 发明名称 | 一种静电吸盘 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种静电吸盘，包含：一上表面，所述静电吸盘内部设有一电极，所述电极到所述静电吸盘上表面的距离不同，所述电极同时连接直流电源和射频功率源。本发明能够补偿静电吸盘边缘的蚀刻/沉积率，从而保证静电吸盘的有效性。 | ||
| 申请公布号 | CN102610476A | 申请公布日期 | 2012.07.25 |
| 申请号 | CN201210063136.8 | 申请日期 | 2012.03.12 |
| 申请人 | 中微半导体设备（上海）有限公司 | 发明人 | 陶铮;松尾裕史;欧阳亮;倪图强;尹志尧 |
| 分类号 | H01J37/04(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人 | 张静洁;徐雯琼 |
| 主权项 | 一种静电吸盘，所述静电吸盘包括一上表面，其特征在于，所述静电吸盘内部设有一电极，所述电极到所述静电吸盘上表面的距离不同，所述电极同时连接直流电源和射频功率源。 | ||
| 地址 | 201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号 | ||