用于生产晶体硅基板的方法和设备

摘要

一种用于从液体进料材料例如硅的熔体池连续地生产晶体带状物的设备和方法。使硅熔化并且流入生长托盘中以提供液体硅的熔体池。通过允许热从熔体池向上流经烟囱状物而被动地除热。在经过烟囱状物发生热损失时，同时对生长托盘加热以保持硅处于它的液相。当经过烟囱状物损失热时，模板被设置成与熔体池接触，从而硅开始“凝固”(即固化)并且附着到模板上。然后从熔体池提拉模板，由此生产晶体硅的连续带状物。

主权项

一种用于生产进料材料的连续带状物的设备，所述设备包括：用于熔化所述进料材料的熔体腔室，所述熔体腔室具有出口；被安置为从所述熔体腔室的所述出口接纳熔化的进料材料的生长托盘；挡板，所述挡板位于所述熔体腔室的所述出口中并且适于仅仅允许熔化的进料材料流经所述出口并且流入所述生长托盘中，而将任何固体保留在所述熔体腔室中；和位于所述熔体腔室的所述出口下游的除热装置，该除热装置与所述生长托盘中的所述熔化的进料材料隔开但是与该熔化的进料材料热连通，所述除热装置包括可调节装置，该可调节装置适于调节从所述生长托盘中的所述熔化的进料材料中辐射的热量。