METHOD FOR USING A DUMMY SUBSTRATE,申请号KR20100083122-传众专利搜索

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发明名称	METHOD FOR USING A DUMMY SUBSTRATE
摘要
申请公布号	KR101167788(B1)	申请公布日期	2012.07.25
申请号	KR20100083122	申请日期	2010.08.26
申请人		发明人
分类号	H01L21/205;H01L21/203	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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