使用多通道喷射单元不连续喷射液态溶解材料物质而沈积出单或多成分薄膜暨薄膜叠层之方法及装置

摘要

本发明系有关一种在一反应腔(2)中至少一基板上沈积至少一薄膜之方法及装置，该薄膜系由为绝缘、钝化或可导电之多种成分组成，数个喷射单元(5)各将一液态或溶于一液体之材料(3)以不连续喷入一温控蒸发室(4)中而使各成分蒸发，该蒸汽再被一携带气体(7)输入反应腔中。依据本发明，决定每一喷射单元(5)质流时间曲线的质流参数，例如喷射预压、喷射频率、脉冲/间隔比例及脉冲/间隔与另一喷射单元脉冲间隔之相位关系，可被个别设定及调整，且反应腔(2)中的压力小于100毫巴，控温该反应腔(2)，并可以一唯一的制程步骤在基板上(1)沈积出多层薄膜。