显影液盛滚筒湿润及清理装置

摘要

一种显影液盛滚筒湿润及清理装置，包含：显影室；液盛滚筒，用以驱动基板进入显影室；显影槽，储存显影液；至少一喷嘴，位于显影室之底部，用以将显影槽之显影液喷洒至液盛滚筒；及压力控制器，用以控制喷嘴喷洒之流量及压力，藉此使液盛滚筒透过喷嘴所喷洒之显影液保持湿润，不会因停滞过久而产生结晶物。