基板的处理方法及基板的处理系统

摘要

卡匣被载置于卡匣载置部之后，由控制装置对基板的处理装置指示卡匣内的基板的处理开始。然后，由控制装置对基板的处理装置指示基板处理终了时所被搬送的卡匣载置部的卡匣。当基板的剩下的处理工程数形成预定的设定数时，该基板的处理终了时的搬送去处的卡匣未被指示时，从基板的处理装置发出警告。该警告系由基板的处理装置通知控制装置，控制装置会指示基板的搬送去处的卡匣。