发明名称 METHOD FOR PRODUCING A SILICON LAYER
摘要 <p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Siliziumschicht, bei welchem Silizium-Nanopartikel unter Einsatz eines Katalysators, vorzugsweise Nickel, versintert werden. Dabei werden auf ein Substrat Nanopartikel aufgebracht, die Silizium enthalten oder daraus bestehen, die Nanopartikel mit Nickel oder einer Nickel enthaltenden Verbindung zusammen gebracht und danach die Nanopartikel und das Nickel oder die Nickel enthaltende Verbindung so erhitzt, dass sich durch Tempern eine zusammenhängende Siliziumschicht ergibt.</p>
申请公布号 WO2012095311(A1) 申请公布日期 2012.07.19
申请号 WO2012EP00107 申请日期 2012.01.11
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;JANK, MICHAEL;SIMON, LUKAS 发明人 JANK, MICHAEL;SIMON, LUKAS
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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