用于非球面测量的波长扫描干涉仪及方法

摘要

本发明公开了一种用于非球面测量的波长扫描干涉仪及方法，包括一套可调谐激光器作为光源，一个泰曼—格林干涉仪用于产生干涉条纹，一个平移台用于沿光轴扫描光程差，一个用于将干涉数据转为数字信号并传入计算机的图像卡，以及一个用于同步CCD相机和平移台动作的数据卡。与传统非球面测量方法不同的是，本干涉仪适用范围广，可以测量大非球面度的表面或波前，且无需补偿零位镜。另外，该方法无需复杂且通常较为昂贵的多维运动平台。

主权项

一种用于非球面测量的波长扫描干涉仪，其特征在于，它包括平移台（1）、被测非球面（2）、第一镜组（3）、分光镜（4）、扩束镜（6）、可调谐激光器（7）、成像透镜（8）、CCD相机（9）、参考平面镜（10）、图像卡（11）、计算机（12）和数据卡（13）等；其中，被测非球面（2）固定在平移台（1），被测非球面（2）、第一镜组（3）、分光镜（4）、成像透镜（8）和CCD相机（9）依次同轴放置，参考平面镜（10）置于分光镜（4）的底部，CCD相机（9）、图像卡（11）、计算机（12）和数据卡（13）依次相连，扩束镜（6）和可调谐激光器（7）相连，平移台（1）和可调谐激光器（7）分别与数据卡（13）相连；可调谐激光器（7）出射的光束经过扩束镜（6）扩束后成为平行光束，波前被分光镜（4）分为两束；其中一束入射到参考平面镜（10）上作为参考光，另外一束经由第一镜组（3）聚焦后入射到被测非球面（2）上，从参考反射镜（10）和被测非球面（2）反射的光重新在分光镜（4）上叠加形成干涉，干涉条纹经过成像透镜（8）后由CCD相机（9）获取，经过CCD相机（9）完成光电转换后由图像卡（11）完成模数转换，最后进入计算机（12）进行信号处理获得光程差和面形信息。