一种探针塔与其制作方法

摘要

本发明一种探针塔与其制作方法，用于晶片测试，包含：一圆形本体，配置有LCD测试区及I/O测试区，圆形本体有一本体上座及一本体下座；多群探针孔，设在LCD测试区及I/O测试区，并垂直贯穿本体上座及本体下座；多群测试探针，设在探针孔内；多群接地孔配置在I/O测试区，多群接地针紧配嵌入本体上座及本体下座其中之一的多群接地孔，并电导通至圆形本体。多群间隔环，为绝缘材料，置于探针孔的端部，固定测试探针于圆形本体上，将测试探针与圆形本体电绝缘。另，圆形本体在LCD测试区为玻璃纤维材质，在I/O测试区为铝合金材质，而在I/O测试区的测试探针使用以空气为介质的非同轴设计，使探针塔具有一特定默认值的特征阻抗。

主权项

一种探针塔，用于晶片测试，包含：一圆形本体，配置有LCD测试区以及I/O测试区，且该圆形本体具有一本体上座及一本体下座；多群探针孔，配置在该LCD测试区及I/O测试区，同时垂直贯穿该本体上座及本体下座；多群测试探针，配置在这些探针孔内，用以传递通过该圆形本体的测试信号；其特征在于：多群接地孔与接地针配置在该I/O测试区，其中这些多群接地针以紧配方式嵌入于该本体上座及本体下座其中之一的多群接地孔，并电性导通至该圆形本体，用以将邻近的测试探针的杂讯及漏电流接地；以及多群间隔环，以绝缘材料制成，配置于这些探针孔的端部，用以固定这些测试探针于这些探针孔内，且提供这些测试探针及该圆形本体的电性绝缘；该圆形本体在该LCD测试区使用玻璃纤维的材质，在该I/O测试区使用铝合金的材质，此外该I/O测试区的测试探针使用以空气为介质的非同轴设计，进而使得该探针塔具有一特定默认值的特征阻抗，其中，特定默认值的特征阻抗为75欧姆，这些测试探针与接地针的直径分别是0.8厘米与2.8厘米，该本体上座与该本体下座电性导通，该圆形本体为导电材质。