基板运送设备和基板运送方法

摘要

提供了基板运送设备和基板运送方法，能够缩短支撑销移动所需的安装等待时间。预先存储安装在基板(1)的背面上的元件(10)的高度数据。在运入和运出基板时，基于元件高度数据，使支撑销(7)下降，并使支撑销(7)缩回至能够避免与元件(10)干涉的高度(h1)。在安装基板时，使支撑销(7)上升至基板支撑高度(h5)，从而基板(1)得到支撑。

主权项

一种基板运送设备，包括：基板运送单元，沿着运送路径运送基板；支撑销，从后面支撑基板；支撑销升降单元，使支撑销上升和下降；以及元件高度数据存储单元，用于存储安装在基板背面上的元件的高度，其中，在安装操作期间使支撑销上升以支撑基板，并且，在基板运出操作期间，根据元件高度数据，使支撑销下降，从而使支撑销退至能够避免与安装在基板背面上的元件干涉的高度，并且其中，所述能够避免与安装在基板背面上的元件干涉的高度这样来确定：在安装于基板背面上的元件中具有最大高度的元件的高度加上安全裕度，然后用基板背面高度减去上述相加结果。