| 发明名称 | 被处理体处理系统及其控制方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种被处理体处理系统及其控制方法。该被处理体处理系统是对被处理体进行规定处理的处理系统，其特征在于，具备对被处理体进行处理的一个或多个处理装置以及对上述处理装置进行控制的控制器，上述控制器构成为在该控制器的电源被切断时能够将构成上述处理装置的多个终端装置选择性地控制成全部停止的停止状态或一部分或全部处于准备对被处理体进行处理的待机状态中的任一种状态。 | ||
| 申请公布号 | CN101802977B | 申请公布日期 | 2012.07.18 |
| 申请号 | CN200880107512.0 | 申请日期 | 2008.12.22 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 小林贤一;仲山阳一;志岐启一郎 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;陈立航 |
| 主权项 | 一种处理系统，该处理系统是对被处理体进行规定处理的处理系统，其特征在于，具备：对被处理体进行处理的一个或多个处理装置；以及对上述处理装置进行控制的控制器，上述控制器构成为：在该控制器的电源被切断时，能够将构成上述处理装置的多个终端装置选择性地控制成全部停止的停止状态以及一部分或全部处于准备对被处理体进行处理的待机状态中的任一种状态；上述控制器具有I/O信息存储部，该I/O信息存储部事先保存有与处于上述待机状态的上述终端装置有关的I/O信息，上述终端装置被选择性地控制成上述待机状态而上述控制器的电源被切断之后，该控制器在下次被启动时，参照上述I/O信息存储部中所保存的上述I/O信息，将与所参照的上述I/O信息相同的I/O信息分别输出到多个上述终端装置。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||