一种精制三氯氢硅的热泵精馏方法

摘要

本发明提供一种精制三氯氢硅的热泵精馏方法，根据气相沉积法制造多晶硅时，将从还原炉中排出的气体冷却后得到的氯硅烷液作为供给液输送至精馏塔的中段，低沸点的三氯氢硅蒸汽从精馏塔顶馏出，经压缩机提温升压后，进入换热器冷却至饱和气体，此气体热源用于加热塔釜再沸器中的混合液，在再沸器换热后的冷凝液一部分回流到精馏塔顶部，剩余部分作为下游工段多晶硅的制造原料，四氯化硅则作为釜液从精馏塔底部排出，完成一个精馏塔自循环开式热泵循环，热泵循环工质和再沸器加热介质均为塔顶物料。本发明优化了热泵精馏工艺，充分利用塔体本身的热循环，降低了能耗，减少了系统的安全隐患。

主权项

一种精制三氯氢硅的热泵精馏方法，根据气相沉积法制造多晶硅时，从还原炉排出的气体是三氯氢硅及四氯化硅的混合物，将从还原炉中排出的气体冷却后得到的氯硅烷液作为供给液输送至精馏塔的中段，其特征是低沸点的三氯氢硅蒸汽从精馏塔(3)顶馏出，经压缩机(1)提温升压后，进入换热器(2)冷却至饱和气体，此气体热源用于加热塔釜再沸器(4)中的混合液，在再沸器(4)换热后的冷凝液一部分回流到精馏塔(3)顶部，剩余部分作为下游工段多晶硅的制造原料，四氯化硅则作为釜液从精馏塔(3)底部排出，完成一个精馏塔自循环开式热泵循环，热泵循环工质和再沸器(4)加热介质均为塔顶物料。