高分子材料、由其得到的发泡体以及使用它们的研磨垫

摘要

本发明的课题在于提供可用作可实现被研磨面的平坦性和提高平坦化效率、且划伤发生少的研磨垫的高分子材料。本发明是通过在用50℃的水饱和溶胀后在50℃下的拉伸弹性模量为130-800MPa，50℃下的损耗角正切为0.2以下，与水的接触角为80°以下的高分子材料来解决上述课题的。

主权项

高分子材料，该高分子材料用50℃的水饱和溶胀后在50℃下的拉伸弹性模量为130‑800MPa，50℃的损耗角正切为0.2以下，与水的接触角为80°以下，上述用50℃的水饱和溶胀后在50℃下的拉伸弹性模量是由通过热压法制备的厚度300μm的膜冲压基于JIS K 7113的2号试验片，在50℃的温水中浸泡3天，以夹具间距40mm，在气氛温度50℃下静置5分钟后，以拉伸速度50mm/分钟测定的拉伸弹性模量，上述50℃的损耗角正切是50℃下的损失弹性模量E”50与50℃下的储存弹性模量E’50之比E”50/E’50，其如下得到，制作厚度2mm的注射成型片，将该片材在90℃下热处理5小时，得到试验片，使用该试验片以频率11Hz测定50℃下的动态粘弹性模量，得到储存弹性模量E’50以及损失弹性模量E”50，由储存弹性模量E’50以及损失弹性模量E”50算出E”50/E’50，上述高分子材料是通过使高分子二醇、有机二异氰酸酯和增链剂反应得到的聚氨酯，相对于1mol高分子二醇和增链剂中所含的活性氢原子，有机二异氰酸酯中所含的异氰酸酯基为0.95‑1.3mol的比例使用各成分，上述高分子二醇至少含有一种数均分子量为1400‑5000的成分，上述聚氨酯是热塑性聚氨酯，来自异氰酸酯基的氮原子的含量相对于所得的热塑性聚氨酯为4.8％重量以上、低于6.0％重量。