使用在打开与关闭操作模式之间易于转换的处理室设计处理微电子工件的工具和方法

摘要

本发明提供了工具设计及其使用的策略，其中，工具可在关闭或打开操作模式中操作。工具根据需要在打开与关闭模式之间轻松地转换。根据一个总体策略，受环境控制的路径将环境与一个或多个处理室接合。处理室上游的空气放大能力允许根据需要将大量气流引入处理室。替代地，诸如通过简单的阀致动将流体路径轻松地关闭，以阻止通过这些路径逸出至环境。然后，可经由至少部分地与用于引入环境空气的路径共用的路径将替代的非环境流体流引入到处理室中。在其他策略中，至少用流动气体帘幕密封可移动部件之间的间隙，而不是仅依赖于直接的物理接触来进行密封。

主权项

一种用于处理微电子工件的系统，所述系统包括容纳所述工件的处理室和将环境空气与所述处理室流体地接合的流体路径；所述系统包括通过所述流体路径将放大的环境空气流引入所述处理室的第一状态，所述放大的环境空气流至少部分地由通过所述处理室上游的孔流入到所述流体路径的加压流体流产生；并且，所述系统包括第二状态，在所述第二状态中，所述处理室和至少一部分所述流体路径与所述环境空气隔离，并且在所述第二状态中，相对于环境空气具有减小的氧气含量的非环境气体通过所述流体路径流入所述处理室。