| 发明名称 | 基板处理设备 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种基板处理设备，其通过均匀地加热基板，在多个基板上形成薄膜和热处理基板。该基板处理设备包括处理室、其中堆叠基板的船形器皿、位于处理室外部的外部加热器、将船形器皿移进和移出处理室的输送器、位于输送器下方的下部加热器、和位于船形器皿中间的中间加热器。 | ||
| 申请公布号 | CN101866853B | 申请公布日期 | 2012.07.18 |
| 申请号 | CN201010128599.9 | 申请日期 | 2010.03.03 |
| 申请人 | 三星移动显示器株式会社 | 发明人 | 罗兴烈;李基龙;徐晋旭;郑珉在;洪钟元;姜有珍;张锡洛;郑胤谟;梁泰勋;苏炳洙;朴炳建;李东炫;李吉远;朴钟力;崔宝京;伊凡·迈丹丘克;白原奉;郑在琓 |
| 分类号 | H01L21/324(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/324(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人 | 罗正云;王诚华 |
| 主权项 | 一种基板处理设备，包括处理室；容纳基板的船形器皿；布置在所述处理室的外部的外部加热器；将所述船形器皿移进和移出所述处理室的输送器；布置在所述处理室下方并位于所述输送器中的下部加热器；和位于所述船形器皿的中间的中间加热器。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||