| 发明名称 | 一种多层非晶透明导电薄膜 | ||
| 摘要 | 本发明公开的多层非晶透明导电薄膜，包括衬底，在衬底上交替沉积有n层非晶氧化物层和导电改性层，n≥2，其中奇数层为非晶氧化物层，或奇数层为导电改性层。采用脉冲激光沉积法或是磁控溅射法制备。本发明的多层非晶透明导电薄膜具有很低的电阻率，同时保持较高的可见光透过率，光电综合性能优异，而且表面粗糙度低，易于大面积均匀制备和工艺刻蚀，可应用于显示器件、发光器件、太阳能电池等领域，特别是柔性器件领域。 | ||
| 申请公布号 | CN102582149A | 申请公布日期 | 2012.07.18 |
| 申请号 | CN201210039235.2 | 申请日期 | 2012.02.21 |
| 申请人 | 浙江大学 | 发明人 | 吕建国;吴萍;张杰;叶志镇;张焱 |
| 分类号 | B32B9/04(2006.01)I | 主分类号 | B32B9/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人 | 韩介梅 |
| 主权项 | 一种多层非晶透明导电薄膜，其特征在于包括衬底（1），在衬底上交替沉积有n层非晶氧化物层和导电改性层，n≥2，其中奇数层为非晶氧化物层，或奇数层为导电改性层。 | ||
| 地址 | 310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号 | ||