层叠衍射光学元件和光学系统

摘要

层叠衍射光学元件包括彼此层叠的多个衍射光栅21、22和23，各个衍射光栅由相同的透光材料形成。在该元件中，反射膜形成在各个衍射光栅的光栅表面11和12上，每个反射膜设置在衍射光栅之间。每个反射膜反射特定的波长范围中的光，并且透射与该特定的波长范围不同的波长范围中的光，各个反射膜的特定的波长范围彼此不同。各个衍射光栅的光栅表面根据与各个反射膜对应的特定的波长范围而被形成为彼此不同的形状。

主权项

一种层叠衍射光学元件，包括：多个衍射光栅，所述多个衍射光栅彼此层叠，各个衍射光栅由相同的透光材料形成；和形成在各个衍射光栅的光栅表面上的多个反射膜，每个反射膜设置在衍射光栅之间，其中，每个反射膜反射特定的波长范围中的光并且透射与所述特定的波长范围不同的波长范围中的光，对于各个反射膜的特定的波长范围彼此不同，并且其中，各个衍射光栅的光栅表面根据对于各个反射膜的特定的波长范围而被形成为彼此不同的形状。