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发明名称 SELECTIVE SILICON ETCH PROCESS
摘要
申请公布号 KR20120080635(A) 申请公布日期 2012.07.17
申请号 KR20127012460 申请日期 2010.10.15
申请人 SACHEM, INC. 发明人 COLLINS SIAN;WOJTCZAK WILLIAM A.
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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