发明名称 Insulation piping member, gas supply system and ion-beam system
摘要
申请公布号 KR101166271(B1) 申请公布日期 2012.07.17
申请号 KR20060027284 申请日期 2006.03.27
申请人 发明人
分类号 H05H1/46;H01J27/02;H01J37/08 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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